在半導(dǎo)體這個(gè)高度精密化的行業(yè)中，擴(kuò)散器專用過(guò)濾器憑借其獨(dú)特的設(shè)計(jì)與卓越的性能，為芯片制造保駕護(hù)航，展現(xiàn)出諸多令人矚目的應(yīng)用特點(diǎn)。

首先，其精妙的結(jié)合特性是核心優(yōu)勢(shì)之一。它將擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性與高效過(guò)濾器的顆粒攔截特性合二為一。在半導(dǎo)體制程中，氣體的順暢流動(dòng)與雜質(zhì)的精準(zhǔn)攔截同等重要。例如在化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝中，需要反應(yīng)氣體均勻穩(wěn)定地流入反應(yīng)腔室，同時(shí)不能有顆粒雜質(zhì)干擾薄膜的均勻沉積。該過(guò)濾器 0.003um 的超高過(guò)濾精度，能有效阻止哪怕是最微小的顆粒混入，確保工藝的純凈性與穩(wěn)定性，極大地降低了因雜質(zhì)導(dǎo)致的芯片缺陷率，提高產(chǎn)品合格率。

獨(dú)特的全 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)更是賦予了它多方面的卓越性能。不銹鋼材質(zhì)本身具備耐高溫、耐高壓、耐腐蝕的特性，使其能在半導(dǎo)體制造各種極端環(huán)境下正常工作。在離子注入等高溫高壓工藝環(huán)節(jié)，以及使用腐蝕性氣體的蝕刻工藝中，它都能堅(jiān)守陣地。而且，這種結(jié)構(gòu)能夠巧妙地減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流。湍流一旦產(chǎn)生，會(huì)破壞工藝室中顆粒的沉降平衡，甚至吹起硅片造成嚴(yán)重?fù)p失。而此過(guò)濾器通過(guò)合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，讓氣體有序流動(dòng)，維持工藝室環(huán)境的寧?kù)o與穩(wěn)定。

再者，其靈活的適用性令人稱贊。不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì)可實(shí)現(xiàn)快速排氣，滿足了半導(dǎo)體生產(chǎn)中對(duì)效率的追求。適用于多種工藝氣體，無(wú)論是常用的惰性氣體還是特殊的反應(yīng)氣體，都能被有效過(guò)濾。在潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測(cè)試、包裝，并 100% 通過(guò)完整性測(cè)試和氨氣泄露檢測(cè)，充分保證了產(chǎn)品的質(zhì)量與可靠性。同時(shí)，可定制化設(shè)計(jì)可依據(jù)不同的安裝空間進(jìn)行調(diào)整，無(wú)論是空間緊湊的小型芯片生產(chǎn)線，還是大型的半導(dǎo)體制造工廠，它都能完美融入，充分發(fā)揮其過(guò)濾效能，為半導(dǎo)體行業(yè)的多元化生產(chǎn)需求提供了強(qiáng)有力的支持。

恒歌擴(kuò)散器過(guò)濾器特點(diǎn)：

1、不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì)、可快速排氣

2、整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

3、減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流

4、適用于多種工藝氣體

5、潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測(cè)試、包裝

6、100%完整性測(cè)試通過(guò)

7、100%氨氣泄露檢測(cè)通過(guò)、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

8、防止微粒混入、幫助提高產(chǎn)品合格率可根據(jù)安裝空間進(jìn)行設(shè)計(jì)。

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