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擴散器專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進行設(shè)計。結(jié)合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。獨特的全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，不僅確保高效過濾，更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生，對工藝室...

MF系列儀器保護專用過濾器、全金屬材質(zhì)、專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計、兼容114”、3/8”及1/2”VCR標(biāo)準(zhǔn)墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝、是MFC模塊、精密閥門及穩(wěn)壓設(shè)備不可或缺的守護屏障。在高達400℃環(huán)境下、能有效阻隔微粒侵襲...

BF系列大宗氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計確保高流通量下低阻損，過濾精度高達0.003um，滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造，是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...

TF系列工藝氣體專用過濾器、專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計、精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒、保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡便、僅需氣路對接與螺母緊固、避免焊接風(fēng)險、確保密封無憂。采用頂級316L不銹鋼全材打造、結(jié)構(gòu)緊湊輕盈、大幅降低壓力損耗、展現(xiàn)卓越微粒過濾效率...

KF系列真空系統(tǒng)氣體過濾器易于安裝于真空系統(tǒng)，特別適用于實現(xiàn)清潔、快速且低湍流的回填過程有效提升產(chǎn)品產(chǎn)量和設(shè)備吞吐量。在規(guī)范安裝及操作條件下，可確保產(chǎn)品完整性達3,000,000次循環(huán)。該過濾器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備接口(如CVD、PVD、E...

OF系列在線式專用氣體過濾器，專為高流量電子級氣體超純凈化設(shè)計，過濾精度高達0.003um。其結(jié)構(gòu)緊湊、強度高，與多種半導(dǎo)體工藝氣體兼容，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼，確保與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體的兼容...

SF系列IGS面板專用過濾器，用于半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)，兼容C型和W型多種密封規(guī)格，實現(xiàn)0.003um級高效顆粒過濾，保障9-LRV清潔度。支持高達100slpm的大流量，適助力設(shè)備升級無憂。全316L不銹鋼構(gòu)造，堅固耐用，緊湊...

BF系列大宗氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計確保高流通量下低阻損，過濾精度高達0.003um，滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造，是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...

BF系列大宗氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計確保高流通量下低阻損，過濾精度高達0.003um，滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造，是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...

TF系列工藝氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計，精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒，保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡便，僅需氣路對接與螺母緊固，避免焊接風(fēng)險，確保密封無憂。采用頂級316L不銹鋼全材打造結(jié)構(gòu)緊湊輕盈，大幅降低壓力損耗，展現(xiàn)卓越微粒過濾效率，...

W型一體式過濾器.全焊接結(jié)構(gòu)，杜絕泄露過濾面積大，流量系數(shù)高，.逆流時，可完成沖洗過程.閥體和過濾元件全滲透焊接.過濾元件公稱孔尺寸:0.5、2、7、15、40um.工作壓力可達:414bar(6000psig).工作溫度:-28~+482...

TF系列工藝氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計，精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒，保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡便，僅需氣路對接與螺母緊固，避免焊接風(fēng)險，確保密封無憂。采用頂級316L不銹鋼全材打造結(jié)構(gòu)緊湊輕盈，大幅降低壓力損耗，展現(xiàn)卓越微粒過濾效率，...